近日，微電子所新技術(shù)開(kāi)發(fā)部微系統(tǒng)技術(shù)實(shí)驗(yàn)室焦斌斌研究員團(tuán)隊(duì)的“緊湊型數(shù)字電容式MEMS三軸一體加速度傳感器關(guān)鍵技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目，在中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)2022年度項(xiàng)目評(píng)選中榮獲“科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)”。

　　自2011年起，焦斌斌團(tuán)隊(duì)與西安交通大學(xué)、蘇州明皜傳感科技有限公司合作開(kāi)展MEMS三軸一體加速度傳感器的關(guān)鍵技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化工作，開(kāi)發(fā)了多項(xiàng)MEMS關(guān)鍵工藝，設(shè)計(jì)了全套MEMS工藝監(jiān)測(cè)方法與圖形體系，保證了MEMS芯片的高良率（＞98%）生產(chǎn)。專家組一致認(rèn)為，該成果技術(shù)復(fù)雜、創(chuàng)新性強(qiáng)、工藝難度大，核心制造工藝與質(zhì)量監(jiān)控方法具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，其中鋁鍺共晶鍵合顆粒溢出檢測(cè)、微小腔體氣密性檢測(cè)等在線工藝質(zhì)量監(jiān)控技術(shù)達(dá)國(guó)際水平。

　　基于該技術(shù)的相應(yīng)產(chǎn)品性能達(dá)博世、ST等國(guó)際龍頭企業(yè)對(duì)應(yīng)型號(hào)水平，獲得業(yè)內(nèi)眾多行業(yè)龍頭標(biāo)桿客戶認(rèn)可，不僅批量應(yīng)用于榮耀、小米、傳音等國(guó)內(nèi)一線品牌的電子產(chǎn)品，還進(jìn)入美國(guó)谷歌、韓國(guó)三星等國(guó)際知名企業(yè)。目前，該加速度傳感器產(chǎn)品市場(chǎng)占有率位居國(guó)內(nèi)市場(chǎng)前三、全球市場(chǎng)前五，正逐漸改變微型三軸加速度傳感器的國(guó)際市場(chǎng)格局。