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- 加速度傳感器靈敏度提高百倍以上
- 來源：科技日報 發(fā)表于 2020/7/1
科技日報消息，東京工業(yè)大學(xué)校長益一哉等人與NTT尖端技術(shù)公司利用包含多個金屬層的積層金屬結(jié)構(gòu)，成功開發(fā)出具有超低噪聲和超高靈敏度的MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）加速度傳感器，與以往相同尺寸的傳感器相比，靈敏度提高百倍以上，噪聲降至十分之一以下。這一創(chuàng)新技術(shù)實(shí)現(xiàn)其通用化，可用于醫(yī)療保健、基礎(chǔ)設(shè)施診斷、移動體控制、機(jī)器人(13.820, 0.15, 1.10%)應(yīng)用等各種運(yùn)動檢測中，有助開發(fā)新的器件和系統(tǒng)。
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